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"一代产品,一代材料”,随着摩尔定律的发展和我国光伏、显示面板和半导体产业的进步,湿电子化学品的需求为行业带来了新增长机会。半导体行业对IC线宽要求愈发苛刻,高世代液晶面板以及新型显示技术的推陈出新,导致对上游湿电子化学品的纯度、洁净度要求越来越高。目前,根据现行通用的SEMI标准,所需超净高纯试剂可分为G1~G5等级。湿电子化学品可根据不同的应用场景选择不同的标准。
一、湿电子化学品介绍
1.概念
湿电子化学品,又称超净高纯试剂或工艺化学品,是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料,是电子技术与化工材料相结合的创新产物,具有用途关键性、厂商高垄断性、品种多样性、行业高增长性等特点。
2.用途
湿电子化学品按用途主要分为通用化学品和功能性化学品两类。 其中通用化学品以高纯溶剂为主,例如过氧化氢、氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸等;功能性化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品,主要包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等。
3.品质要求
光伏、显示面板和半导体是最主要的应用领域。清洗、光刻、显影、蚀刻、去胶等湿法工艺制作流程都离不开湿电子化学品的参与。不同的行业生产标准有别,对湿电子化学品的工艺要求也不同。
4.半导体湿法工艺流程
5.相关标准
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