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离子束研磨(CP)
现在,样品中越来越小的细节结构正逐步受到人们的关注。为获得高质量截面,在没有任何变形或损失的情况下揭开样品内部最真实的结构信息,离子束研磨对比于常规的机械研磨有着更为优良的研磨效果。863检测采用离子束研磨技术,高效且易获得高质量切面结果,对软/硬复合、带有孔缝结构、热敏性、脆性及非均质的样品均有很好的效果。
项目介绍
机械研磨和离子束研磨对比图
从图中我们可以看出,离子束研磨比机械研磨抛光更能获得平整光滑的表面,划痕损伤少、界限清晰的样品截面,呈现镜面效果,更真实的反映出样品的结构和表面状况。
应用领域:半导体、电子材料、高新材料、复合材料、锂离子电池、隔膜、太阳能电池、高分子材料、金属材料、陶瓷、生物材料等。
离子束研磨(CP)测试原理:
离子束研磨是在真空条件下,离子枪中低压惰性气体(氩)离子化,出射的阳离子又经加速,获得具有一定速度的离子束投射到样品表面,由于离子带正电荷,其质量比电子大数千、数万倍,所以离子束比电子束具有更大的撞击动能,靠微观的机械撞击能量加工样品。
特点peculiarity:
1.加工的精度非常高。
2.污染少。
3.加工应力、热变形等极小。
4.可加工软性,多孔,复杂样品。
因此,离子束研磨是一种超精密加工和微细加工技术,是一种原子级的加工方法,具有极高的加工平整度。
离子研磨有两种方式:
——Flatmilling 平面研磨
——Cross-section截面研磨
粉体材料平面研磨
应用案例
BGA元器件
可观察到无铅焊接的孔隙或裂缝合金层与Ag的分布
截面研磨