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表面分析实验室
表面分析实验室是最先建立，最完善的实验室，拥有众多进口高端设备。表面分析指利用电子、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用，测量从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像，表征材料表面微观形貌、表面粗糙度、表面微区成分、表面组织结构、表面相结构、表面镀层结构及成分等相关参数。
金属、半导体、陶瓷、聚合物等固体表面，涉及领域包括通讯、电子电器、半导体、光学、汽车、五金、钟表等。
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表面成分分析
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形貌观察与测量
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涂镀层测试
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■表面成分分析：
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测试设备Techniques |
分析深度Depth |
检出限Limit |
分析信息Information |
横向分辨率Analytical spot |
分析有机物Organic Analysis |
特色Advantage |
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X射线能谱EDS@SEM |
μm |
1% |
Be-U |
1μm |
不可以 |
可成像 |
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X射线能谱EDS@TEM |
~50nm |
1% |
Be-U |
5nm |
不可以 |
可成像 |
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X射线光电子能谱XPS |
<5nm |
0.1% |
除H、He外 |
10μm |
可以 |
化学态 |
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俄歇电子能谱AES |
<3nm |
0.1% |
除H、He外 |
4nm |
不可以 |
可成像 |
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飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS |
<3nm |
ppm |
所有元素 |
10nm |
可以 |
官能团 |
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X射线荧光谱 |
mm |
ppm |
Na-U |
100μm |
不可以 |
RoHS |
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X射线衍射 |
mm |
2% |
晶体结构Crystal structure |
mm |
部分 |
物质成分 |
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红外光谱仪 |
mm |
5% |
化学结构Chemical structure |
10μm |
可以 |
物质成分 |
|
拉曼光谱 |
μm |
5% |
化学结构Chemical structure |
1μm |
可以 |
物质成分 |
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扫描电子显微镜 |
- |
- |
- |
1nm |
可以 |
- |
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双束显微镜 |
- |
- |
- |
1nm |
可以 |
TEM制样 |
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透射电子显微镜 |
- |
- |
- |
0.2nm |
可以 |
高分辨 |
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原子力显微镜 |
- |
- |
- |
1nm |
可以 |
三维形貌 |
■形貌观察与测量：
表面形貌 断口/截面形貌 金相分析孔隙率 三位表面形貌 表面粗糙度 颗粒大小
>涂镀层厚度：截面显微镜显示 丨 台阶仪 丨 X射线荧光测厚仪 丨 XPS深度剖析 丨 AES深度剖析
>涂镀层结合力：百格法 丨 纳米划痕 丨 大载荷划痕
>涂镀层硬度：维氏硬度 丨 纳米硬度 丨 铅笔硬度 丨 邵氏硬度
