扫描电镜观察测量贴片式LED

前言

由客户提供贴片式LED灯珠（已化学剥胶），用扫描电子显微镜（以下简称SEM）进行微观结构的观察与测量，以判断其功能结构有无异常。

参考标准

JY/T 010-1996   分析型扫描电子显微镜方法通则

GB/T 16594-2008    微米级长度的扫描电镜测量方法通则

样品处理：将贴片LED放入磁控离子溅射仪，进行镀导电膜处理。

测试过程：

根据观察位置调整马达台倾斜和水平旋转的角度，调整倾斜角度时必须严格控制样品台和极靴之间的距离，以避免损伤电镜。根据实际情况选取适当的放大倍数，调整图像至清晰，无明显干扰横纹。需测量的目标，在图片整体中应清晰可见，扫描保存后，再打开系统附带的专业长度测量软件进行测量。

效果图：

图1  LED整体图（图中A为客户怀疑的异常焊点）

图2  多角度的SEM观察焊点图（可见焊点已断裂）

图3  相关尺寸的测量图